微型阀

微型阀是微尺度阀。即，微流体调节两个流体端口之间流动的两端口组件。微型阀是微流体设备（如芯片实验室）中的基本组件，用于控制流体传输。在1995年至2005年期间，开发了许多基于微机电系统的微型阀。

今天发现的微型阀可大致分为主动微型阀和被动微型阀。根据它们控制的介质，微型阀可分为气体微型阀和液体微型阀。根据其初始模式，微阀可分为常开、常闭和双稳态微阀。

主动式机械微型阀由机械可移动的膜片或凸台结构组成，与可关闭孔口的致动方法耦合，从而阻塞了入口和出口之间的流动路径。致动器可以是集成的磁性、静电、压电或热微致动器，“智能”相变，例如形状记忆合金或流变材料，或外部施加的致动机构，例如外部磁场或气动源。

被动微阀是通过其控制的流体确定其工作状态（即打开或关闭）的阀。最常见的被动微型阀是瓣阀，薄膜微型阀和球形微型阀。

用MEMS微型阀控制气流具有以下一般性好处：操纵机构与其他微型阀组件的集成使组件小型化；组件的尺寸小，响应时间快，功耗低。然而，尽管微机电系统（MEMS）技术提供了具有成本效益的批量制造的潜力，但迄今为止，气体微阀仍无法达到广泛采用该技术所需的关键性能成本比。

大多数单向阀都集成在往复式微型泵的进口和出口中，在这些单向阀中，它们可以为阀提供一个方向上的净泵流量所需的液体精馏。