梳状致动

梳状驱动器是微机电致动器，通常用作线性致动器，它利用作用在两个导电梳之间的静电力。 光束致动致动器通常在微米或纳米尺度上运行，通常通过体微加工或表面微加工硅晶片基板来制造。

当在静态梳子和移动梳子之间施加电压导致它们被拉到一起时，就会产生吸引静电力。 致动器产生的力与两个梳子之间的电容变化成正比，随驱动电压、梳齿数和齿间间隙的增加而增加。 梳子的排列使它们永远不会接触（因为那样就不会有电压差）。 典型地，齿被布置成使得它们可以彼此滑动，直到每个齿占据相对梳子中的槽为止。

如果要将电机的直线运动转换为旋转或其他运动，可以添加复位弹簧、xxx和曲轴。

可以通过首先从存储在电容器中的能量开始，然后对力的方向进行微分来导出力。

• 成排互锁齿• 半固定• 活动组件的一半• 电气隔离• 静电吸引/排斥– CMOS 驱动电压• 多齿增加力– 通常10μm 长且强度大

光束状态致动器不能缩放到大间隙距离（等效驱动距离），因为在大间隙距离处产生有效力需要高电压——因此受到电击穿的限制。 更重要的是，间隙距离施加的限制限制了致动距离。