磁力显微镜

磁力显微镜（MFM），并且磁偶极-偶极相互作用利用扫描型探针显微镜是一种，可以测量分钟的表面的磁畴显微镜。

磁力显微镜和其他扫描探针显微镜之间的区别在于，在MFM中，作用在磁体和同一极（N极和N极或S极）之间的相反极（N极和S极）之间的吸引力和S极）排斥效应（磁偶极-偶极相互作用和不利用），悬臂到坡莫合金或钴系的磁性材料沉积在其使用通过所获得的材料。可以通过杠 杆振动的相位差来检测磁性吸引和排斥作用，并且通过磁探针和样品磁场的作用引起的悬臂振动的相变，可以反映出磁力梯度的分布^。。MFM首先使用DFM（第 一扫描）测量表面形状信号，然后返回同一行，以第 一接触扫描所存储的表面形状为非接触状态，并且将探针分开一定距离，以追踪该表面形状通过测量由于磁力引起的相位变化（第二次扫描），可以始终根据表面形状确定相同高度处的磁力分布。测量从材料表面泄漏的磁通属于探针显微镜的一类非常困难的类别，因为原子力的影响在样品表面附近增加。漏磁通的检测灵敏度取决于探头的Q值和它取决于曲率半径。目前，最高灵敏度约为10 nm分辨率，例如JS（Just On Surface）-MFM。

• 空间分辨率约为几十纳米，并且强烈需要提高空间分辨率。
• 对于常规技术而言，难以有效地提高空间分辨率的样品表面附近的磁场测量是困难的，因为磁力被强的短程力掩盖。

通过对样本表面附近的磁场进行一次检测，以及通过对大气中的磁场进行零检测来检测磁场的向上/向下极性，实现5nm的空间分辨率，这是传统磁力显微镜难以实现的。

通过将交变磁场源添加到磁力显微镜并生成具有与探头的共振频率不同的频率的交变磁场，使用不是激振力的交变磁力作为信号源，在探头振动中产生调频。通过添加一个频率解调器和锁定放大器，可以对振动波形进行频率解调，并通过锁定检测来测量交变磁力。通过使用锁定检测，可以在样品表面进行磁场测量，并且可以对磁场进行零检测，从而可以识别磁场的极性。

用法

• 硬或磁带，例如磁记录介质在磁记录位的观测
• 用电子束光刻技术制备的精细磁图案的磁畴结构研究