真空电弧

真空电弧时的表面可能出现的金属电极中具有良好的接触真空开始发射电子或者通过加热（热电子发射）或在电场足以引起场致电子发射。一旦启动，真空电弧就会持续存在，因为释放的粒子从电场中获得动能，通过高速粒子碰撞加热金属表面。这个过程可以产生一个白炽阴极点，释放更多的粒子，从而维持电弧。在足够高的电流下，白炽阳极点也可以形成。

真空放电对于某些类型的真空管和高压真空开关很重要。

热离子真空电弧（TVA）是一种新型等离子体源，它产生具有定向能量的含有离子的等离子体。TVA放电可以在加热的阴极（电子枪）和含有该材料的阳极（钨坩埚）之间的高真空条件下被点燃。入射到阳极上的加速电子束将坩埚及其内容物加热到高温。在建立蒸发的阳极材料原子的稳态密度之后，当施加的电压足够高时，在电极之间点燃明亮的放电。