梳状驱动器

梳状驱动器是微机电致动器，通常用作线性致动器，它利用作用在两个导电梳之间的静电力。梳状驱动致动器通常在微米或纳米尺度上运行，并且通常通过对硅晶片衬底进行体微机械加工或表面微机械加工来制造。

当在静态和移动梳子之间施加电压导致它们被拉到一起时，就会产生静电吸引力。致动器产生的力与两个梳齿之间的电容变化成正比，随着驱动电压、梳齿数量和齿间间隙的增加而增加。梳子被排列成它们永远不会接触（因为那样就不会有电压差）。通常，齿的排列使得它们可以相互滑过，直到每个齿都占据相对梳中的槽。

如果要将电机的线性操作转换为旋转或其他运动，则可以添加恢复弹簧、xxx和曲轴。

成排的互锁齿•半固定•可移动组件的一半•电隔离•静电吸引/排斥–CMOS驱动电压•许多齿增加了力–通常为10μm长且坚固。

梳状驱动器不能扩展到大间隙距离（相当于驱动距离），因为在大间隙距离上产生有效力需要高电压——因此受到电击穿的限制。更重要的是，间隙距离施加的限制限制了驱动距离。