二次电子

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二次电子是作为电离产物产生的电子。它们被称为“二次”,因为它们是由其他辐射(初级辐射)产生的。这种辐射可以是具有足够高能量(即超过电离势)的离子、电子或光子形式。光电子可以被认为是二次电子的一个例子,其中初级辐射是光子;在一些讨论中,具有更高能量(>50eV)的光电子仍然被认为是初级的,而光电子释放的电子是次级的。 二次电子也是在扫描电子显微镜(SEM)中观察图像的主要手段。二次电子的范围取...
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简介

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二次电子是作为电离产物产生的电子。 它们被称为“二次”,因为它们是由其他辐射(初级辐射)产生的。 这种辐射可以是具有足够高能量(即超过电离势)的离子、电子或光子形式。 光电子可以被认为是二次电子的一个例子,其中初级辐射是光子; 在一些讨论中,具有更高能量(>50 eV)的光电子仍然被认为是初级的,而光电子释放的电子是次级的。

应用

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二次电子也是在扫描电子显微镜(SEM)中观察图像的主要手段。 二次电子的范围取决于能量。

二次电子

将非弹性平均自由程绘制为能量的函数通常显示电子光谱学家和表面分析员熟悉的通用曲线的特征。 这个距离在金属中大约是几纳米,在绝缘体中大约是几十纳米。 这个小距离允许在 SEM 中实现如此精细的分辨率

对于 SiO2,对于 100 eV 的初级电子能量,二次电子范围距离入射点高达 20 nm。

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