扫描探针显微镜

扫描探针显微术（是坂田探针显微镜，扫描探针显微镜 ; SPM）有一个尖头探针被用来通过移动，从而扩大了表面状态的观察，这是一种以跟踪的物质的表面显微镜。

作为一个实际的例子，观察表面时，分钟电流利用（隧道电流）扫描隧道显微镜（STM），原子力利用原子力显微镜，包括多种类型的（AFM）。

基本配置包括固定并移动测量目标的样品台，检测靠近样品表面的局部相互作用的探针以及控制它们的控制器。此外，样品的电或磁场施加机构用于改变样品温度辐射或光，或通过冷却和加热，真空为室 - 泵等被附连在根据目的。

依赖于光的波长的光学显微镜比空间分辨率非常高，超高真空中，AFM和STM是原子可以观察以下级别的表面不规则性。与电子显微镜相比，某些打算在大气中进行测量的设备尺寸特别小，可以安装在桌子上。在实际情况中，广泛使用了易于测量，价格便宜并且不需要超高真空的设备，并且AFM通常仅用于测量表面形状。

样品台主要使用能够将台阶控制在纳米水平的压电台，在这种情况下，样品的可测量面积为数十μm以下，高度为10μm以下。还有一种可以通过组合电机台来测量4英寸晶圆中数十微米的设备。

第 一扫描探针显微镜，IBM在格尔德·宾宁开发由（格尔德·宾宁）STM是。但是，由于STM使用隧道电流，因此无法观察绝缘子。因此，类似于Binihhi AFM利用由（1986）开发的原子力，铺展测量。基于这些，开发了SPM不仅可以评估表面形状，还可以评估各种局部表面特性。

目前，AFM是一个磁盘的表面粗糙度（表面粗糙度）测量值，DVD 0.1这样压模微米已成为不可或缺的测量仪器用程序之前和之后的不规则性测量。它也用于评估绝缘样品和含有水分的生物样品。