电子显微镜

电子显微镜是一种普通的显微镜（光学显微镜），它向要观察的物体施加光（可见光）并使之膨胀，而电子（电子束）代替光被施加。扩展的显微镜。电子显微镜广泛用于物理，化学，工程，生物学和医学（包括诊断）领域。

高分辨率观察

光学显微镜的分辨率的极限（通过将两点分隔为“两个点”可以观察到的最短距离）在理论上被可见光的波长限制为约100 纳米，并且小于该波长。无法观察到对象（例如病毒）。另一方面，在电子显微镜中，电子束的波长比可见光的波长短得多，因此理论分辨率约为0.1 纳米（在透射电子显微镜的情况下）。优点是可以观察到（观察到）用光学显微镜看不到的微小物体。目前，可以使用高分辨率电子显微镜观察（观察）原子尺寸的物体。

尽管经常被误解，但电子显微镜比光学显微镜的优势在于分辨率而不是放大倍数。即使使用光学显微镜，如果放大照片或使用高倍率的目镜或中间透镜，从理论上也可以获得无限高倍率的图像。但是，对于分辨率低于此分辨率的对象来说，这是没有意义的，因为无论放大倍率增加多少，都无法看到细节。

大型设备

由于产生电子束的电子枪的性质，需要几千伏至几百千伏，有时甚至更高的高压。同样，为了稳定的电子束辐照，必须将显微镜内部保持在稳定的真空中。因此，高压发生器，真空泵和显微镜本身必须具有耐压结构，设备往往很大，可能需要专用房间，但是只能将扫描电子显微镜放在桌面上。小型产品（例如类型）也在增加。根据类型，市售电子显微镜的价格在几百万至几亿日元之间。

电子显微镜的类型

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透射电子显微镜（TEM）是将电子束施加到观察对象并放大并观察通过电子束的电子的显微镜。由于电子束的透射量根据被摄体的结构和成分而不同，因此透射电子的密度根据位置而变化，这成为显微图像。透射电子束使用电磁线圈放大，并通过撞击电子束照射的荧光屏进行观察，或者用胶卷或CCD照相机拍摄照片。为了通过观察目标进行观察，将样品切割得尽可能薄，或者将其施加在传输电子的薄膜上。

扫描电子显微镜（SEM）是观察从施加到观察对象的电子束反射的电子（或二次电子）获得的图像的显微镜。扫描类型的名称是因为显微镜图像是在扫描（扫描）时通过逐渐移动将电子束施加到对象的位置而形成的。将电子收集在检测器中，并使用计算机显示二维图像。

对于观察物体表面的形状，不规则外观以及相对靠近表面的部分的内部结构而言，它非常出色。以前，如果要观察的物体不导电，则如果继续施加电子束，将使要观察的物体的表面带电，并且反射的电子图案将受到干扰。近年来，无需预处理即可在低真空下观察到越来越多的产品。