真空法兰

真空法兰是管端的法兰，用于将真空室、管道和真空泵相互连接。真空法兰用于科学和工业应用，以允许各种设备通过物理连接进行交互，以及从真空室外部进行真空维护、监控和操作。存在几种法兰标准，它们在最终可达到的压力、尺寸和易于连接方面存在差异。

存在几种真空法兰标准，相同的法兰类型被不同的制造商和标准组织称为不同的名称。

ISO标准快速释放法兰的名称为QuickFlange(QF)、KleinFlansche（KF，德语，在英语中翻译为小法兰）或NW，有时也称为DN。KF名称已被ISO、DIN和Pneurop采用。KF法兰由带倒角的后表面制成，该后表面附有圆形夹具和安装在金属定心环中的弹性O形圈（AS568规范）。对于直径为10至50mm的法兰，标准尺寸由公称内径以毫米为单位表示。尺寸10、20和32是不太常见的尺寸（参见Renard数字）。一些尺寸与其各自较大的相邻尺寸共享其法兰尺寸，并使用相同的夹具尺寸。这意味着DN10KF可以通过使用自适应定心环与DN16KF配合。这同样适用于DN20KF至DN25KF和DN32KF至DN40KF。

ISO大型法兰标准被称为LF、LFB、MF或有时只是ISO法兰。与KF法兰一样，法兰由定心环和弹性O形圈连接。通常在大直径O形圈周围使用额外的弹簧加载圆形夹具，以防止它们在安装过程中从定心环上滚落。ISO大法兰有两种。ISO-K（或ISOLF）法兰用双爪夹连接，夹在法兰管侧的圆形凹槽上。ISO-F（或ISOLFB）法兰有孔，用于用螺栓连接两个法兰。两个带ISO-K和ISO-F法兰的管子可以通过用单爪夹夹住ISO-K侧连接在一起，然后用螺栓固定到ISO-F侧的孔中。ISO大型法兰的标称管径为63至500mm：

CF（ConFlat）法兰采用无氧高导热铜垫片和刀口法兰实现超高真空密封。ConFlat一词是Varian,Inc.的注册商标，因此其他法兰制造商通常使用CF。两个相配的CF法兰的每个面都有一个刀刃，它切入较软的金属垫圈，提供了极其密封的金属对金属密封。金属垫片的变形填补了法兰中的小缺陷，允许Conflat法兰在低至10−13Torr(10−11Pa)压力下运行。刀刃凹入每个法兰的凹槽中。除了保护刀刃外，凹槽还有助于将垫圈固定到位，从而使两个法兰对齐并减少烘烤过程中的垫圈膨胀。对于不锈钢对扁法兰，可以达到450℃的烘烤温度；温度受垫片材料选择的限制。CF法兰无性别且可互换。在北美，法兰尺寸以法兰外径为单位，以英寸为单位，而在欧洲和亚洲，尺寸以管内径为单位，以毫米为单位。尽管命名约定不同，但实际法兰是相同的。ConFlat垫圈最初是由WilliamWheeler和瓦里安的其他工程师发明的，目的是制造一种在烘烤后不会泄漏的法兰。

Wheeler法兰是一种大型线密封法兰，通常用于大型真空室。

在美国普及的法兰标准由美国国家标准协会(ANSI)编纂，有时也以该组织以前的名称美国标准协会(ASA)命名。这些法兰是弹性O形圈密封件，可用于真空和压力应用。法兰尺寸由管标称内径（ANSI命名约定）或法兰外径以英寸表示（ASA命名约定）。

为了实现真空密封，需要使用垫圈。弹性O形密封圈可由丁腈橡胶、氟橡胶、硅橡胶或聚四氟乙烯制成。O形圈可以放置在凹槽中，也可以与定心环结合使用，或作为由单独的金属环固定在适当位置的捕获O形圈。金属垫片用于超高真空系统，其中弹性体的脱气可能是一个重要的气体负荷。铜环垫片与对平法兰一起使用。可以使用由铜、金或铟制成的金属丝垫片。

真空馈通是一个法兰，它包含与真空室的真空密封电气、物理或机械连接。电馈通允许将电压施加到真空下的组件，例如灯丝或加热器。物理馈通的一个示例是用于冷却水的真空密封连接。机械馈通用于在真空下旋转和平移组件。摇杆是一种机械馈通装置，可用于拾取、移动和以其他方式操纵真空室中的物体。