加速度计

加速度计，是物体加速度的测量设备。

小型加速度计（加速度传感器）是MEMS技术制造的。MEMS加速度传感器用于汽车安全气囊，汽车导航测斜仪，游戏控制器等，因为它们的质量小且灵敏度降低，但可以xxx缩小尺寸。由于精度是根据测量轴指定的，因此除非轴方向由外壳的固定表面（及其加工精度）确定，否则加速度传感器建议的精度将毫无意义。

带有重物的弹簧以共振频率振动。当对砝码施加加速度时，施加在弹簧上的应力会发生变化，因此弹簧的共振频率也会发生变化。这是吉他的的字符串是相同的原则，当你松开或拉伸这种变化的声音。通过检测该频率变化来检测加速度。

使用Q值高的弹簧结构（通常使用音叉型）可以提高频率变化检测的精度，因此可以获得较高的测量精度。

该原理还用于精确测量物体重量（例如电子天平）的设备中。在这种情况下，由于施加到弹簧上的应力根据物体的重量而变化，所以发生频率变化。

有几种类型的光学加速度传感器，其用于光学地传递由加速度引起的位置变化，以进行检测和放大，并最终由光学传感器转换成电信号。在FBG光纤类型中，通过将施加到重量上的加速度设置为对 FBG（光纤布拉格光栅）光纤的张力来检测波长的变化。有时将通过半导体加速度传感器测量的数据在光纤上传输的对象称为光学类型，并且有各种类型。

机械和光学加速度计需要制造，调整和修理，增加了成本，并且不适合小型化或智能化，因此在各种最新设备中使用的半导体加速度计采用半导体方法正在增加。两者都使用MEMS（微机电系统）技术。

电容类型

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检测由梁结构支撑的小的可移动部分处的位置的微小变化作为电容的变化，并通过电路对其进行放大和测量。通过创建两种类型的梳齿结构来检测电容，可以提高检测精度：粗糙和精细。

压阻型

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通过硅半导体制造技术通过将表面薄化成环形来形成隔膜。中心重物由这种薄金属支撑，使检测加速度引起的位移更容易。膜片位置的变化由压阻元件检测，并由电路放大和测量。通过设计膜片和压阻元件的安装方式，可以检测三轴方向的加速度。

气体温度分布类型

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通过周围的温度测量电阻器电桥的电阻变化，检测出在腔体的中心处变暖和变轻的气体由于加速度而移动，并且被电路放大并测量。即，在其他方法中，将比空气重的重量作为质量，但在该方法中，将比空气轻的气体部分视为质量。由于没有机械移动部件，因此MEMS工艺的成品率良好，可以以低成本制造。