扫描微波显微镜

微波是可见光多相比波长较长时，完整分辨率不能提高。因此，存在一种通过将扫描近场光显微镜的概念扩展到微波带来增加分辨率的方法以及通过应用原子力显微镜的技术来增加分辨率的方法。

在扫描近场光学显微镜的方法中，微波的照射位置局部变窄以相对地扫描样品。爱德华·哈钦森·辛格（Edward Hutchinson Synge）在1928年提出了近场光学显微镜（NOM）的原理，但实际工作的原型是通过扫描微波创建的。显微镜比近场光学显微镜要快，并且在1972年由EA Ash和G Nicholls在微波区域进行了实验验证。这样的结构使得在“ 腔谐振器 ”中形成一个小孔，并且将从孔泄漏的微波施加到紧密粘附到该孔的样品的微小区域上，并使用XY平台对样品进行机械扫描以产生微波束。扫描。用这种方法，可获得约200 nm的分辨率。

在原子力显微镜法中，从悬臂末端的探针向微波照射局部区域，并测量反射响应，特别是在半导体的情况下，获得与载流子浓度相关的信号。由于微波的反射率随着载流子浓度的增加而增加，因此可以获得与载流子浓度分布相关的图像，并且所获得的信号强度与载流子浓度呈线性相关，因此定量性很高。尽管可以在高载流子浓度区域获得高达约10 nm 的空间分辨率，但在低载流子浓度区域可以减小到几百nm 。

材料分析